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高真空蒸發鍍膜儀需要怎樣的維護和保養·↟☁?

釋出時間↟₪:2022-08-12

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  高真空蒸發鍍膜儀可提供大100A鍍膜電流◕•·✘,大蒸發溫度高達1800℃◕•·✘,可滿足各種普通金屬和部分非金屬的蒸發₪││✘。真空室採用高純石英◕•·✘,易於觀察鍍膜過程◕•·✘,易清洗;結合分子泵組◕•·✘,可達到5x10-4pa的極限真空度◕•·✘,有效保證氣相沉積膜的純度和附著力₪││✘。
  
  全自動程式控制◕•·✘,彩色觸控式螢幕介面◕•·✘,操作簡單◕•·✘,可鍍金(AU)↟↟、鉑(PT)等非氧化性貴金屬◕•·✘,也可鍍銥(IR)↟↟、鉻(CR)↟↟、鋁(AL)等細小顆粒易氧化膜材料₪││✘。特別適用於場發射電鏡↟↟、透射電鏡樣品製備和非晶碳包覆膜/TEM網格支撐膜的製作◕•·✘,也可為薄膜應用等材料領域提供理想的鍍膜平臺₪││✘。那麼它需要怎樣的維護和保養·↟☁?
  
  1↟↟、高真空蒸發鍍膜儀每完成200道以上的鍍膜工序◕•·✘,應清洗一次工作間₪││✘。方法是用飽和燒鹼(NaOH)溶液反覆擦洗真空室壁(注意人體皮膚不能直接接觸燒鹼溶液◕•·✘,以免燙傷)₪││✘。目的是使塗膜材料鋁(AL)與NaOH反應◕•·✘,反應後膜層脫落◕•·✘,釋放氫氣₪││✘。然後用清水清洗真空室◕•·✘,用蘸有汽油的布擦淨精抽閥內的汙垢₪││✘。
  
  2↟↟、粗抽泵(滑閥泵和旋片泵)連續工作一個月(雨季一半)時◕•·✘,需要更換新油₪││✘。方法是↟₪:擰下開油螺栓◕•·✘,排盡舊油◕•·✘,然後啟動泵數秒◕•·✘,使泵內的舊油完全排出₪││✘。擰上回油螺栓◕•·✘,將新油加至規定量(用油視鏡觀察)₪││✘。連續使用半年以上◕•·✘,換油時應開啟油蓋◕•·✘,用布擦淨箱內臟物₪││✘。
  
  3↟↟、高真空蒸發鍍膜儀擴散泵連續使用6個月以上◕•·✘,抽速明顯慢或操作不當₪││✘。充入大氣◕•·✘,拆下連線水管◕•·✘,拆下電爐板◕•·✘,擰出噴嘴◕•·✘,用汽油清洗泵腔和泵囊◕•·✘,然後用洗衣粉和水清洗◕•·✘,再用水徹底清洗₪││✘。待水揮發後◕•·✘,裝上泵膽◕•·✘,加新的擴散泵油◕•·✘,裝回機體◕•·✘,接好水管◕•·✘,裝上電爐板◕•·✘,即可重新啟動₪││✘。重啟前注意漏電檢測₪││✘。方法是↟₪:啟動維護泵◕•·✘,關閉閘門◕•·✘,幾分鐘後觀察擴散泵的真空度是否達到6x10pa◕•·✘,或進行洩漏檢測₪││✘。檢查接頭處是否安裝密封膠圈或密封圈是否損壞₪││✘。排除潛在的漏氣後才能進行加熱◕•·✘,否則擴散泵油會燒壞環而不能進入工作狀態₪││✘。
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