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雙管滑動快速加熱冷卻爐--OTF-1200X-4-C4LVS

簡要描述↟·•··:OTF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是 一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關於柔性金屬箔電極方面的研究▩☁•,透過滑動爐子實現快速加熱和冷卻☁↟•。請點選下圖觀看爐子的工作原理☁↟•。

  • 產品型號↟·•··:
  • 廠商性質↟·•··:生產廠家
  • 更新時間↟·•··:2022-10-11
  • 訪  問  量↟·•··:957
詳細介紹

   OTF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是 一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關於柔性金屬箔電極方面的研究▩☁•,透過滑動爐子實現快速加熱和冷卻☁↟•。請點選下圖觀看爐子的工作原理☁↟•。

 

特點:   

1.雙石英管↟·•··:外管直徑100mm ▩☁•,懸掛的內管直徑 80. 金屬箔纏繞在內管的外表面上發生CVD反應☁↟•。
2.雙管的真空密封法蘭↟·•··:允許反應氣體透過兩管之間(10mm間隙)發生反應▩☁•,冷卻氣體直接通入內管.
3.四通道質量流量計控制4路氣體☁↟•。
4.配有KF25快接和波紋管的高速機械泵☁↟•。

5.爐子底部裝有滑軌↟·•··:爐子可以從一端滑向另一端▩☁•,從而實現快速升溫和降溫.

技術引數

爐體結構
  • 高純 Al2O3保溫材料▩☁•,保證了爐膛有*的溫度均勻性.
  • 內爐膛表面塗有美國進口的1750度高溫氧化鋁塗層可以提高裝置的加熱效率▩☁•,同時也可以延長儀器的使用壽命
  • 爐子底部的冷卻風扇保證了熱量正常對外釋放.
  • 密封法蘭系統全不鏽鋼製作☁↟•。
電源電源:208-240VAC,  50/60Hz, 單相,  2.5KW ( 20A 保險絲)
加熱溫度
  • zui高溫度: 1100°C
  • 連續溫度: 1000°C
加熱區
  • 加熱區長度: 440mm
  • 恆溫區長度: 120mm (±1°C) @400~1100°C
  • 選擇:   
  • 雙溫區爐可獲得t 240mm 的恆溫區

 

加熱和冷卻速度zui快的加熱和冷卻速度跟工作溫度有關▩☁•,  請點選下圖看出zui快的加熱和冷卻速度隨溫度的變化而變化☁↟•。
( 在使用爐子之前▩☁•,要校準工作溫度和加熱◕✘╃₪╃、冷卻速度 )

 
click to enlarge
加熱冷卻
石英管外管:     OD: 4"x ID: 3.8"X55" Length        (OD100 x ID 96 x 1400, mm )
內管:        OD:3.15: x ID x 2.95" x 55" Length  (OD80 x ID 75 x 1800 mm )
真空法蘭
  • 一對 SS304不鏽鋼法蘭▩☁•,透過用兩個高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空☁↟•。
  • 爐子底部裝有一對滑軌
  • 爐子可以手動從一端滑向另一端▩☁•,實現快速的加熱和冷卻☁↟•。
  • 為了得到較快的加熱速度▩☁•,可以先將爐子預熱▩☁•,然後滑到放置樣品的位置☁↟•。
  • 為了獲得較快的冷卻的速度▩☁•,把爐子滑向另一端▩☁•,同時將冷卻氣體通入 樣品所在的位置☁↟•。
左法蘭(點選放大)右法蘭 (點選方大)
    
極限真空度: 10^-2 torr (機械泵)
                   10^-5 torr (分子泵)
可選本公司進口的防腐型數字式真空顯示計▩☁•,其測量範圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要係數轉換☁↟•。(點選圖片檢視詳細介紹)
溫控儀溫控儀:帶超溫保護和PID調節的 30 段程式控制☁↟•。 控溫儀表操作影片
控溫精度: +/-1°C
混氣系統4路精密質子流量計↟·•··:數字顯示◕✘╃₪╃、氣體流量自動控制.
  • MFC 1範圍:  0~100 sccm
  • MFC 2範圍:  0~200 sccm
  • MFC 3範圍:  0~200 sccm
  • MFC 4範圍:  0~500 sccm
  • 氣路: 4 路
     
  • 流量精度: 0.2%
     
  • 進氣和出氣介面: 1/4" 卡套
     
  • 一個混氣罐.
     
  • 每路氣路都有一個獨立的不鏽鋼針閥控制☁↟•。  
     
  • 透過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量. 請看下圖
     
  • MFC 面板(點選放大)
真空泵
  • 安裝在移動架底部的機械泵▩☁•,真空度達 10-3 Torr. 
  • 真空泵與手動擋板閥之間用KF25 快接與不鏽鋼波紋管連線 . 
  • 數字真空表安裝在一端的法蘭上.

    選擇: 
    可以配分子泵▩☁•,真空度達 10-5 Torr     
作為基片用的25um厚的銅箔 
(選配)
生長石墨烯的銅箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness)
尺寸(mm)爐體: 550 x 380 x 520
移動架: 600x600x597
淨重300 lb
保修期一年質保期 (耗材↟·•··:如爐管▩☁•,“O”型圈▩☁•,和加熱元件等不在保修範圍內)
認證  CE 認證
 
國家

名稱↟·•··:一種快速高溫退火爐

編號↟·•··:ZL-2011-2-0077168.4

尊重創新◕✘╃₪╃、鄙視抄襲◕✘╃₪╃、侵權必究☁↟•。

快速加熱冷卻的雙管CVD爐--操作影片
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