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含滑軌法蘭的管式爐--OTF-1200X-SF

簡要描述☁│₪:OTF-1200X-4-SF是一款爐管尺寸為100mm│☁✘◕,帶有滑軌法蘭的管式爐│☁✘◕,Z高工作溫度為1200℃│☁✘◕,此款管式爐專為客戶自己搭建CVD系統而設計│₪↟◕。

  • 產品型號☁│₪:OTF-1200X-SF
  • 廠商性質☁│₪:生產廠家
  • 更新時間☁│₪:2022-10-12
  • 訪  問  量☁│₪:991

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詳細介紹

OTF-1200X-4-SF是一款爐管尺寸為100mm│☁✘◕,帶有滑軌法蘭的管式爐│☁✘◕,zui高工作溫度為1200℃│☁✘◕,此款管式爐專為客戶自己搭建CVD系統而設計│₪↟◕。

 

技術引數

爐體結構

  • 爐管尺寸☁│₪:100mmO.Dx94mmI.Dx750mmL(石英管)
  • zui高工作溫度為1100℃
  • 右端安裝有一水冷滑軌法蘭│☁✘◕,以便於放樣和取樣
  • 在預熱爐體和主反應爐體之間有一水冷法蘭
  • 左端水冷法蘭上有個氣體介面│☁✘◕,用於客戶通入反應氣體(點選圖片檢視詳細資料)
  •  

電源

單相, 220V AC, 50/60 Hz

zui大功率    

3.6KW(需要20A的空氣開關)

加熱區

  • 主反應爐☁│₪:440mm
  • 恆溫區☁│₪:100mm

溫控系統

  • 採用PID方式來調節溫度│☁✘◕,可設定30段升降溫程式
  • 採用K型熱電偶
  • 控溫精度☁│₪:+/- 1
  • 可選購控溫軟體│☁✘◕,可通電腦來設定和顯示溫度程式
  •   

密封法蘭

右端法蘭☁│₪:

  • 水冷卻法蘭│☁✘◕,透過冷卻迴圈水對密封圈進行水冷(可在本公司購買迴圈水冷機)
  • 法蘭上有KF25介面│☁✘◕,可透過波紋管與真空泵相連線
  • 爐體內的樣品臺與法蘭相連線│☁✘◕,並且右端法蘭為滑軌法蘭│☁✘◕,以便於放樣和取樣
  • 法蘭上安裝有一數顯防腐真空計(如下圖)

淨重

100kg

尺寸

 

  • 右端法蘭關閉時的尺寸☁│₪:1220mm×458mm×585mm(48"L X 18"W X 23"H)
  • 右端法蘭開啟時的zui大尺寸☁│₪:1676mm×458mm×585mm(66"L X 18"W X 23"H)

質保

一年質保期│☁✘◕,終身維護(不包含爐管│·、密封圈和加熱元件)

質量認證

  • 質量認證
  • 所有電器元件(輸入電壓>24V)都通過了UL認證
  • 本公司所有高溫爐都可透過TUV│·、UL或CSA認證
  •      

注意事項

  • 爐管內氣壓(相對氣壓)需小於0.02MPa
  • 所用氣瓶上必須安裝減壓閥(可在本公司購買減壓閥)
  • 當裝置溫度高於1000℃時│☁✘◕,爐管內部不可處於真空狀態│☁✘◕,需處於常壓或微正壓狀態
  • 進氣流量需小於200sccm

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