OTF-1200X-4-SF是一款爐管尺寸為100mm│☁✘◕,帶有滑軌法蘭的管式爐│☁✘◕,zui高工作溫度為1200℃│☁✘◕,此款管式爐專為客戶自己搭建CVD系統而設計│₪↟◕。
技術引數
爐體結構 | - 爐管尺寸☁│₪:100mmO.Dx94mmI.Dx750mmL(石英管)
- zui高工作溫度為1100℃
- 右端安裝有一水冷滑軌法蘭│☁✘◕,以便於放樣和取樣
- 在預熱爐體和主反應爐體之間有一水冷法蘭
- 左端水冷法蘭上有個氣體介面│☁✘◕,用於客戶通入反應氣體(點選圖片檢視詳細資料)

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電源 | 單相, 220V AC, 50/60 Hz |
zui大功率 | 3.6KW(需要20A的空氣開關) |
加熱區 | - 主反應爐☁│₪:440mm
- 恆溫區☁│₪:100mm
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溫控系統 | - 採用PID方式來調節溫度│☁✘◕,可設定30段升降溫程式
- 採用K型熱電偶
- 控溫精度☁│₪:+/- 1℃
- 可選購控溫軟體│☁✘◕,可通電腦來設定和顯示溫度程式

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密封法蘭 | 右端法蘭☁│₪: - 水冷卻法蘭│☁✘◕,透過冷卻迴圈水對密封圈進行水冷(可在本公司購買迴圈水冷機)
- 法蘭上有KF25介面│☁✘◕,可透過波紋管與真空泵相連線
- 爐體內的樣品臺與法蘭相連線│☁✘◕,並且右端法蘭為滑軌法蘭│☁✘◕,以便於放樣和取樣
- 法蘭上安裝有一數顯防腐真空計(如下圖)

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淨重 | 100kg |
尺寸 | - 右端法蘭關閉時的尺寸☁│₪:1220mm×458mm×585mm(48"L X 18"W X 23"H)
- 右端法蘭開啟時的zui大尺寸☁│₪:1676mm×458mm×585mm(66"L X 18"W X 23"H)

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質保 | 一年質保期│☁✘◕,終身維護(不包含爐管│·、密封圈和加熱元件) |
質量認證 | - 質量認證
- 所有電器元件(輸入電壓>24V)都通過了UL認證
- 本公司所有高溫爐都可透過TUV│·、UL或CSA認證

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注意事項 | - 爐管內氣壓(相對氣壓)需小於0.02MPa
- 所用氣瓶上必須安裝減壓閥(可在本公司購買減壓閥)
- 當裝置溫度高於1000℃時│☁✘◕,爐管內部不可處於真空狀態│☁✘◕,需處於常壓或微正壓狀態
- 進氣流量需小於200sccm
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